[发明专利]磺酸盐和光刻胶组合物无效
| 申请号： | 03155804.6 | 申请日： | 2003-08-22 |
| 公开（公告）号： | CN1495526A | 公开（公告）日： | 2004-05-12 |
| 发明（设计）人： | 山口训史;上谷保则;森马洋 | 申请（专利权）人： | 住友化学工业株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/038 | 分类号： | G03F7/038 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 | 代理人： | 王学强 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种分子式(I)的磺酸盐：其中Q1，Q2，Q3，Q4和Q5各自独立地代表H、具有1－16个碳原子的烷基、具有1－16个碳原子的烷氧基、卤素、具有6－12个碳原子的芳基、具有7－12个碳原子的芳烷基、氰基、硫化物、羟基、硝基或分子式(I`)的基团－COO－X－Cy1(I`)，其中X代表亚烷基，和该亚烷基中的至少一个－CH2－可被－O－或－S－取代，和Cy1代表具有3－20个碳原子的脂环烃。 | ||
| 搜索关键词： | 磺酸盐 光刻 组合 | ||
【主权项】：
1.一种分子式(I)的磺酸盐：![]()
其中Q1，Q2，Q3，Q4和Q5各自独立地代表H、具有1-16个碳原子的烷基、具有1-16个碳原子的烷氧基、卤素、具有6-12个碳原子的芳基、具有7-12个碳原子的芳烷基、氰基、硫化物、羟基、硝基或分子式(I`)的基团-COO-X-Cy1 (I`)，其中X代表亚烷基，和该亚烷基中的至少一个-CH2-可被-O-或-S-取代，和Cy1代表具有3-20个碳原子的脂环烃，和A+代表反离子，条件是至少一个Q1，Q2，Q3，Q4和Q5是分子式(I`)的基团。
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