[发明专利]含有2，1，4－重氮萘醌磺酰基的光、热、电子束产酸源及其制备方法

摘要

本发明涉及通式(I)所示的2，1，4－重氮萘醌磺酰基类光、热、电子束产酸源，其中n为1～6，R为衍生于选自(1)N－羟基酰亚胺类化合物、(2)只含有酚羟基的化合物以及(3)既含有酚羟基又含有羧基的化合物的酯化母体或接枝母体的残基。所述产酸源利用2，1，4－重氮萘醌磺酰氯与所述酯化母体或接枝母体反应而制备。本发明的产酸源可以作为近紫外、深紫外、电子束光致抗蚀剂的产酸源，也可以作为ArF激光(193nm)光致抗蚀剂的光产酸源，还可以作为通过近红外激光扫描，经由光热转化物质发热，热致分解产酸的热敏CTP版材用热产酸源。

主权项

1.通式(I)所示的光、热或电子束产酸源：其中n为1～6，R为衍生于选自如下的酯化母体或接枝母体的残基：(1)N-羟基酰亚胺类化合物，(2)只含有酚羟基的化合物，和(3)既含有酚羟基又含有羧基的化合物。