[发明专利]真空配管灾害防止装置无效
| 申请号： | 03156528.X | 申请日： | 2003-09-03 |
| 公开（公告）号： | CN1589928A | 公开（公告）日： | 2005-03-09 |
| 发明（设计）人： | 朴炳涉;金炳哲 | 申请（专利权）人： | 怀康科技股份有限公司 |
| 主分类号： | A62C4/00 | 分类号： | A62C4/00 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 | 代理人： | 党晓林 |
| 地址： | 台湾省*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 一种真空配管灾害防止装置，主要是于半导体IC、液晶TFT－LCD等制程的真空管路与排气管内，设以O2侦测器(Sensor)、温度侦测器以及氮气气动阀，以供分别侦测配管龟裂渗入的气体、排气管内的制程气体、可燃性气体的异常升温，以经由电脑纪录警示项目，并利用区域网路通知相关负责人员，以达到防止灾害发生的目的；其中的气动阀是可于管路内充满氮气，以防止回火可能造成的灾害。 | ||
| 搜索关键词： | 真空 灾害 防止 装置 | ||
【主权项】：
1.一种真空配管灾害防止装置，其特征在于：主要于半导体IC及液晶TFT-LCD制程的真空配管及排气管装设温度及02侦测器，以供侦测制程气体、可燃性气体的浓度及温度，以防止因管路渗入空气或异常升温，造成燃烧反应的灾害。
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