[发明专利]用于确定被测物体光谱反射率的装置无效
| 申请号： | 03156881.5 | 申请日： | 2003-09-11 |
| 公开（公告）号： | CN1490608A | 公开（公告）日： | 2004-04-21 |
| 发明（设计）人： | 马克斯·C·许尔曼;托马斯·米萨拉;贝恩德·泽埃尔 | 申请（专利权）人： | 占诺普蒂克显微技术有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/55 | 分类号： | G01N21/55;G01N21/33 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人： | 张兆东 |
| 地址： | 联邦德*** | 国省代码： | 德国;DE |
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| 摘要： | 对于一种用于确定被测物体光谱反射率的装置所提出的任务是，更简单且更紧凑地构成测量装置并且防止目前为了获得基准射线所必需的元件远离光程以及复杂的平移和旋转运动。由辐射源发出的不同射线范围作为测量和基准射线，它们同时对准至少一个分散元件的不同光谱分解范围和摄谱装置中的至少一个接收器的不同接收范围上。优选被测物体是与光谱有关的反射表面，用于在极限紫外区(EUV)中辐射，但是本装置的应用不局限在这个光谱区。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 确定 物体 光谱 反射率 装置 | ||
【主权项】：
1.一种用于确定被测物体光谱反射率的装置，具有一用于照射被测物体的辐射源和一用于光谱辐射检验的摄谱装置，其特征在于，由所述辐射源(1)发出的不同射线范围作为测量和基准射线(8，9)，它们同时对准至少一个分散元件的不同光谱分解范围和摄谱装置中的至少一个接收器的不同接收范围。
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