[发明专利]扫描探针显微镜无效
| 申请号： | 03156917.X | 申请日： | 2003-09-15 |
| 公开（公告）号： | CN1490606A | 公开（公告）日： | 2004-04-21 |
| 发明（设计）人： | 王宏;奚爽;李丹芸 | 申请（专利权）人： | 北京中科奥纳科技有限公司 |
| 主分类号： | G01N13/10 | 分类号： | G01N13/10 |
| 代理公司： | 北京海虹嘉诚知识产权代理有限公司 | 代理人： | 张涛 |
| 地址： | 100085北京市海淀区上*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供一种既能够有效防止划伤样品，又能够减少图像失真，从而有利于获得精确表征样品表面形貌的高分辨率图像的扫描探针显微镜，包括带针尖的微悬臂，其特征在于：所述微悬臂与振荡装置固定连接；所述针尖位于所述微悬臂的一端，所述振荡装置位于所述微悬臂的另一端；所述振荡装置包括压电陶瓷晶体，和对该压电陶瓷晶体的振荡频率及振幅进行控制的振荡频率控制器，所述微悬臂固定在所述压电陶瓷晶体上。 | ||
| 搜索关键词： | 扫描 探针 显微镜 | ||
【主权项】：
1.扫描探针显微镜，包括带针尖的微悬臂，其特征在于：所述微悬臂与振荡装置固定连接。
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