[发明专利]惯性传感器性能调整装置无效
| 申请号： | 03156959.5 | 申请日： | 2003-09-16 |
| 公开（公告）号： | CN1598595A | 公开（公告）日： | 2005-03-23 |
| 发明（设计）人： | 陈怡如;张凯程;范光钱;许铭修;梁佩芳 | 申请（专利权）人： | 财团法人工业技术研究院 |
| 主分类号： | G01P15/08 | 分类号： | G01P15/08;G01D5/12 |
| 代理公司： | 北京科龙寰宇知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 孙皓晨 |
| 地址： | 中国*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种惯性传感器性能调整装置，由悬浮结构与微电镀结构组成，该悬浮结构可利用牺牲层技术的微面型加工技术，或微体型加工技术配上薄膜工艺制作而成，该悬浮结构的一端固设于一支撑件上，使该悬浮结构的另一端呈悬浮状态，通过微电镀工艺于悬浮结构的呈悬浮状态的一端成型微电镀结构，作为惯性传感器的惯性质量块，通过微电镀工艺可改变微电镀结构大小，使惯性传感器适用于不同等级的感测，并且利用工艺上所选用材料为金属的优点，来实现深宽比高(High Aspect－Ratio)的微小结构中侧向感测或驱动讯号设置的功效。 | ||
| 搜索关键词： | 惯性 传感器 性能 调整 装置 | ||
【主权项】：
1、一种惯性传感器性能调整装置，包括：一悬浮结构，其一端固设于一支撑件上，使该悬浮结构的另一端呈悬浮状态；以及一微电镀结构，由微电镀工艺成型于悬浮结构的呈悬浮状态的一端，其具有一高度。
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