[发明专利]等离子清洗装置无效
| 申请号： | 03157010.0 | 申请日： | 2003-09-09 |
| 公开（公告）号： | CN1593795A | 公开（公告）日： | 2005-03-16 |
| 发明（设计）人： | 野田吉昭;肥山道行;泷本胜英 | 申请（专利权）人： | 株式会社岛津制作所 |
| 主分类号： | B08B7/00 | 分类号： | B08B7/00;H01L21/3065;H01L21/60 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人： | 汪惠民 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本发明提供一种等离子清洗装置，其中将被处理物(22)设置在相对地线电极(14)的在活性电极(12)相反侧的位置上。被处理物(22)与容器的底部被电绝缘地支撑，在被处理物(22)上连接电气导通路径(24)。电气导通路径(24)通过电阻器(26)和副电源(28)接地。将副电源(28)的被处理物(22)的电位设定为规定电位，比如负电位，向容器(2)内导入处理气体，在容器(2)内保持100Pa程度的真空度，从电源(16)向活性电极(12)施加电压，由此在活性电极(12)和地线电极(14)之间产生放电，发生等离子，通过使该等离子作用于被处理物(22)，对被处理物(22)的表面进行清洗与活性化。 | ||
| 搜索关键词： | 等离子 清洗 装置 | ||
【主权项】：
1.一种等离子清洗装置，是一种具备由连接于等离子发生用电源的活性电极与接地的地线电极组成的一对对峙电极的容器中导入处理气体，将该容器减压到低于大气压，使之发生等离子，通过该等离子清洗被放置在该容器内的被处理物的等离子清洗装置，其特征在于：将被处理物的放置位置设置在所述对峙电极的对峙空间的外侧，并且在被处理物上连接电气导通路径。
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