[发明专利]制膜装置及其驱动方法、器件的制造方法和制造装置及器件无效
| 申请号： | 03157012.7 | 申请日： | 2003-09-09 |
| 公开（公告）号： | CN1495019A | 公开（公告）日： | 2004-05-12 |
| 发明（设计）人： | 臼井隆宽 | 申请（专利权）人： | 精工爱普生株式会社 |
| 主分类号： | B41J2/00 | 分类号： | B41J2/00;G02B5/20 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人： | 李香兰 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种制膜装置及其驱动方法、器件的制造方法和制造装置及器件。该制膜装置及其驱动方法，是由使喷出液滴的喷出波形(第一信号)(W1)，与使不喷出液滴、且控制付与液状体移位速度以保持该液状体低粘度的微振动波形(第二信号)(W2)，控制付与液状体的振动。 | ||
| 搜索关键词： | 装置 及其 驱动 方法 器件 制造 | ||
【主权项】：
1.一种制膜装置的驱动方法，用于通过对液状体付与振动而喷出液滴，其特征在于：由使喷出所述液滴的第一信号与使不喷出所述液滴，且向所述液状体付与使该液状体呈低粘度的移位速度的第二信号控制所述振动。
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