[发明专利]压电体元件、喷墨记录头和压电体元件的制造方法有效
申请号: | 03157463.7 | 申请日: | 2003-09-22 |
公开(公告)号: | CN1494169A | 公开(公告)日: | 2004-05-05 |
发明(设计)人: | 小林本和;久保田纯;铃木久男;内田文生;清水千惠美;前田宪二 | 申请(专利权)人: | 佳能株式会社;富士化学株式会社 |
主分类号: | H01L41/09 | 分类号: | H01L41/09;H01L41/187;H01L41/047;B41J2/045 |
代理公司: | 北京市金杜律师事务所 | 代理人: | 杨宏军 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 一种压电体元件,该压电体元件是具有夹在下部电极和上部电极之间的压电体膜的压电体元件,所述下部电极和/或所述上部电极与所述压电体膜由钙钛矿型氧化物构成,所述下部电极和/或所述上部电极与所述压电体膜之间不存在接合界面,且所述下部电极和/或所述上部电极与所述压电体膜之间存在所述下部电极和/或所述上部电极的结晶与所述压电体膜的结晶混合的区域。 | ||
搜索关键词: | 压电 元件 喷墨 记录 制造 方法 | ||
【主权项】:
1、一种压电体元件,该压电体元件是具有夹在下部电极和上部电极之间的压电体膜的压电体元件,其特征在于,所述下部电极和/或所述上部电极与所述压电体膜由钙钛矿型氧化物构成,所述下部电极和/或所述上部电极与所述压电体膜之间不存在接合界面,且所述下部电极和/或所述上部电极与所述压电体膜之间存在所述下部电极和/或所述上部电极的结晶与所述压电体膜的结晶混合的区域。
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