[发明专利]转移方法和有源矩阵基板的制造方法无效
申请号: | 03157964.7 | 申请日: | 1997-08-26 |
公开(公告)号: | CN1495523A | 公开(公告)日: | 2004-05-12 |
发明(设计)人: | 下田达也;井上聪;宫泽和加雄 | 申请(专利权)人: | 精工爱普生株式会社 |
主分类号: | G03F7/00 | 分类号: | G03F7/00;G03F7/34;H01L27/12;H01L21/336;H01L29/786 |
代理公司: | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人: | 叶恺东 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 一种转移方法,包括:提供基板;在上述基板上形成被转移层;使转移体与上述被转移层结合;和将上述被转移层从上述基板移走,而将上述被转移层转移到上述转移体;再使用上述基板于另一转移。 | ||
搜索关键词: | 转移 方法 有源 矩阵 制造 | ||
【主权项】:
1.一种转移方法,包括:提供基板;在上述基板上形成被转移层;使转移体与上述被转移层结合;和将上述被转移层从上述基板移走,而将上述被转移层转移到上述转移体;再使用上述基板于另一转移。
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