[发明专利]微致动器及其制造方法、光拾取头及其制造方法无效
| 申请号： | 03158093.9 | 申请日： | 2003-08-13 |
| 公开（公告）号： | CN1494068A | 公开（公告）日： | 2004-05-05 |
| 发明（设计）人： | 李泳柱 | 申请（专利权）人： | LG电子株式会社 |
| 主分类号： | G11B7/09 | 分类号： | G11B7/09 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 | 代理人： | 马高平;杨梧 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | 一种微致动器、它的制造方法、具有微致动器的光记录/再现装置的光拾取头、以及它的制造方法。实现了低电压和低能量双向驱动，从而系统的尺寸和重量能被显著地减小并能提高响应速度。通过减小校准公差提高了一致性和生产效率。另外，由盘上的记录层的保护层的不均匀厚度和盘的不均匀平滑度引起的结构公差被校正了，从而物镜的焦点能被最佳地聚焦在盘的记录层上。 | ||
| 搜索关键词： | 微致动器 及其 制造 方法 拾取 | ||
【主权项】：
1.一种微致动器，包括：具有多个在一侧以规则间隔形成的下部固定电极的下部基片；安装在下部基片的上侧并且相应于下部基片的结构具有在其一侧以规则间隔形成的多个上部固定电极的上部基片；介于下部基片和上部基片之间的绝缘层；具有在其外周表面处形成的以便使其交替地布置在下部固定电极和上部固定电极之间的移动电极的移动基片，并且移动基片被安装得使其在光轴的方向被驱动；安装在移动基片处的用于将移动基片弹性地返回初始位置的弹性件；和用于给下部基片、上部基片和移动基片提供能量以驱动移动基片的能量供给单元。
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