[发明专利]膜形成方法

摘要

一种膜形成方法，其特征在于，具有：通过向并苯类化合物提供光或/和热，使之进行环化加成反应，从而生成可溶解于溶剂的环化体的工序；在基材上设置含所述环化体和可溶解所述环化体的溶剂的液体层的工序；向该液体层提供光或/和热，生成由并苯类化合物组成的固体的工序。本发明提供了可以用液相工艺形成含有并苯类化合物的膜的膜形成方法。

主权项

1.一种膜形成方法，其特征在于，具有：向用下记通式(I)表示的第1化合物及用下记通式(II)表示的第2化合物提供光或/和热，生成由所述第1化合物和所述第2化合物发生环化加成而成的环化体的工序；在基材上设置含所述环化体和可溶解所述环化体的溶剂的液体层的工序；向该液体层提供光或/和热，生成含有所述第1化合物和所述第2化合物的固体的工序；[化1]式中，R¹、R²、R³及R⁴相同或不相同，其原子数在1以上且18以下，且具有1个以上选自下记A组的原子或部位，苯环上的氢原子可以被取代，A组由氢原子、卤原子、烷烃部位、烯烃部位、醚部位、缩醛部位、羰基部位、氨基部位、酰胺部位、酯部位、碳酸酯部位、亚胺部位、及酸酐部位构成；n¹、n²、n³、n⁴分别为0以上的整数，且n¹+n²和n³+n⁴中至少有1个在2以上。