[发明专利]用于衬底和离子束照射装置的充电电压测量装置

摘要

一种充电电压测量装置，包括用于与设置在衬底保持单元上的衬底形成静电电容Cs的测量电极、连接在测量电极和地电位部分之间并具有静电电容Cm的测量电容器、测量在测量电容器上的测量电压Vm的电压测量单元和计算单元。基于在时间t1时的测量电压(t1)、分压比的倒数K和与测量电容器18并联设置的电阻的电阻值Rm，该计算单元22根据下面的数值表达式计算在时间t1时在衬底表面上的充电电压Vs，Vs＝K[Vm(t1)+{1/(Cm·Rm)}∫₀^t1Vm(t)dt]其中K＝(Cs+Cm)/Cs或K＝Cm/Cs(如果Cm＞＞Cs)。

主权项

1.一种充电电压测量设备，用于测量在衬底保持单元中的衬底的表面上的充电电压Vs，包括：测量电极，用于与所述衬底形成静电电容Cs，并且设置在所述衬底保持单元上，以与所述所保持的衬底的背面相接触或接近，并且所述测量电极与所述衬底保持单元电绝缘。连接在所述测量电极和地电位部分之间的测量电容器，所述测量电容器具有静电电容Cm；测量在所述测量电容器的两端之间的测量电压Vm的电压测量单元；和计算单元，用于基于通过所述静电电容器Cs和Cm的关系所确定的分压比的倒数K和所述测量电压Vm，根据下面的数值表达式1或它在数学上等效的数值表达式，计算所述充电电压Vs，[数值表达式1]Vs＝K×Vm其中K＝(Cs+Cm)/Cs或K＝Cm/Cs(如果Cm＞＞Cs)。