[发明专利]一体型研磨垫及其制造方法有效
| 申请号： | 03158605.8 | 申请日： | 2003-09-17 |
| 公开（公告）号： | CN1494986A | 公开（公告）日： | 2004-05-12 |
| 发明（设计）人： | 许铉;李尚目;宋基千;金承根;孙镀权 | 申请（专利权）人： | 韩国珀利尔有限公司 |
| 主分类号： | B24D11/00 | 分类号： | B24D11/00;B24D3/00 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人： | 李香兰 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 韩国;KR |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 一种一体型研磨垫，包括弹性支持层和形成在所述弹性支持层的上方且硬度比所述弹性支持层的硬度更高的研磨层，且所述弹性支持层和所述研磨层是由相互之间具有化学相溶性的材料构成，在所述弹性支持层和所述研磨层之间不存在结构性边界部。另外，本发明的研磨垫具备对被研磨对象的表面状态检测用光源透明且与其他的研磨垫的结构部件成为一体型的透明区域。由于本发明的研磨垫的平坦化效率高、研磨垫的物性均匀，所以在研磨工序中可稳定地使用。另外，不会发生研磨料浆的沉积，移动和输送容易，并成为一体型，所以不需要用于连接各结构部件的粘接剂或连接工序，从而制造工序变简单。 | ||
| 搜索关键词： | 体型 研磨 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
1、一种一体型研磨垫，是用于在与被研磨对象的表面接触的状态下边移动边进行研磨工序的研磨垫，其特征在于，具备弹性支持层和形成在所述弹性支持层的上方且硬度比所述弹性支持层的硬度更高的研磨层，且所述弹性支持层和所述研磨层是由相互之间具有化学相溶性的材料构成，以使在所述弹性支持层和所述研磨层之间不存在结构性边界部。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于韩国珀利尔有限公司，未经韩国珀利尔有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/03158605.8/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：超级研磨磨石
- 下一篇：含有被埋入的液态微量成分的研磨垫及其制造方法
