[发明专利]具有定向控制的晶圆运送装置

摘要

一种具有定向控制的晶圆运送装置，该装置贮存和运送晶圆，通过注模成形的容器，其包括一底部，该底部具有一晶圆区域用于在其上放置一个若干晶圆组合的堆，其中每一晶圆组合包括一个晶圆框架，在该晶圆框架上安装有一晶圆。一保护壁环绕在晶圆区域四周，该保护壁至少包括一壁外形制造物。根据本发明的每一晶圆框架包括一对应的相反的或用于配合的制造物。本发明对该保护壁装置和晶圆框架进行了配置，因此为了将该晶圆框架安装在该容器中，定向该晶圆框架必须要求该壁和框架制造物相配合。

主权项

1.一种具有定向控制的晶圆运送装置，其特征在于，该装置包括：一晶圆贮存室；至少一个设置在该晶圆贮存室内的定向用制造物；以及若干适合于插入到一堆中该晶圆贮存室里的晶圆元件，每一晶圆元件在其上至少包括一个对准用制造物，其中每一个至少一对准用制造物对应于至少一方向制造物，因此在该晶圆贮存室中定向每一晶圆元件并防止每一晶圆元件在该贮存室内实质的转动。