[发明专利]裸晶粒托盘夹有效
申请号: | 03158749.6 | 申请日: | 2003-09-22 |
公开(公告)号: | CN1577789A | 公开(公告)日: | 2005-02-09 |
发明(设计)人: | 吉姆·皮伦;斯科特·布拉德利;艾伦·韦伯 | 申请(专利权)人: | 皮克塑料和金属产品国际有限公司 |
主分类号: | H01L21/68 | 分类号: | H01L21/68;B65G49/07 |
代理公司: | 中原信达知识产权代理有限责任公司 | 代理人: | 陈肖梅;文琦 |
地址: | 中国*** | 国省代码: | 中国香港;81 |
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摘要: | 本发明涉及一种用来固定由至少一托盘和托盘封盖组成的堆叠的裸晶粒托盘夹,由托盘夹所施加的堆叠压缩力实质上被限制在托盘和封盖的周边轨条部分,该托盘夹具有一槽道底座,其附加有左边和右边的侧保持壁,以便限制堆叠在左、右方向上的运动,底座上面的左侧和右侧支杆突起分别从左边和右边侧壁向内延伸,通往槽道壁,以便在向上的方向中固定堆叠,弹簧突起在槽道的输入和输出端从底座出发向上延伸,而且其配置便于向对立的堆叠底端边缘区域施加一向上的弹力。 | ||
搜索关键词: | 晶粒 托盘 | ||
【主权项】:
1.一种在堆叠中夹紧至少一个托盘的裸晶粒托盘夹,适合固定匣套中的多个集成电路堆叠和封盖,其特征在于,包含:一形成一槽道的底部的底座,槽道允许堆叠的插入和移除;附加到底座的第一和第二遏制段与底座共同形成槽道结构,其中,槽道结构实质上在两方向限制堆叠的运动,即横向相对于槽道长度的运动和垂直相对于底座平面的运动;和至少两个附加到槽道结构上的压力元件,以便在两个压力元件之一和槽道结构的一部分之间,为堆叠的周边提供压力来夹紧堆叠,由此避免独立于封盖的托盘运动,而且保证集成电路维持在托盘的匣套里的位置。
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H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
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