[发明专利]基板搬运系统

摘要

一种基板搬运系统，配置2台(图中为(1A、1B))从盒(11)将基板(10)搬出的基板输出装置(1)，并配置有承接从各输出装置(1A、1B)输出的基板(10)并将基板位置滑移至流程装置(40)的中心的移动式基板搬运传送器(2)。而且，由移动式基板搬运传送器(2)承接基板(10)，并在流程装置(40)的前面配置对搬运高度进行升降的升降式基板搬运传送器(4)以及从升降式基板搬运传送器(4)承接基板(10)并向流程装置(40)供给基板(10)的双层结构的带升降功能的双层升降式基板搬运传送器(5)。本发明可满足流程装置的基板搬运条件，满足所需的处理能力，并能消除产品质量下降的原因，降低初期成本及运行成本，可构筑作业性良好的流水线。

主权项

1.一种基板搬运系统，利用将平板状的基板进行输出的基板输出装置而将从该基板输出装置搬出的基板朝水平方向搬运、并以片单位供给到对基板进行规定处理的流程装置，其特征在于，具有根据基板供给到流程装置的供给速度而交替地移动至和第2位置、分别在不同的位置承接从基板输出装置搬出的基板的具备第1及第2层双层结构的可动式基板搬运传送器，在第1位置，在第1层承接从基板输出装置搬出的基板，并将基板从第2层向流程装置供给，在第2位置，在第2层承接从基板输出装置搬出的基板，并从第1层将基板向流程装置供给。