[发明专利]衍射光学元件有效
| 申请号： | 03160116.2 | 申请日： | 2003-09-26 |
| 公开（公告）号： | CN1501103A | 公开（公告）日： | 2004-06-02 |
| 发明（设计）人： | 常世田义文;铃木宪三郎 | 申请（专利权）人： | 株式会社尼康 |
| 主分类号： | G02B5/18 | 分类号： | G02B5/18;B32B27/00 |
| 代理公司： | 中原信达知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 武玉琴;顾红霞 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种提高角度性能的多层式衍射光学元件。衍射光学元件包括第一衍射元件(6)和由不同于第一衍射元件(6)材料制成的第二衍射元件(7)，并且第二衍射元件(7)粘结于第一衍射元件(6)，在粘接表面处形成一衍射光栅(1)。一遮光薄膜(5a)形成在该衍射光栅(1)的槽的壁表面(3)上。 | ||
| 搜索关键词： | 衍射 光学 元件 | ||
【主权项】：
1.一种衍射光学元件，包括：第一衍射元件，第二衍射元件，由不同于第一衍射元件的材料制成并与第一衍射元件粘结在一起，和形成在该粘结表面上的一衍射光栅，其中，一遮光罩形成在该衍射光栅每个槽的壁表面上。
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