[发明专利]匀平剂化合物无效
申请号: | 03164894.0 | 申请日: | 2003-06-03 |
公开(公告)号: | CN1497069A | 公开(公告)日: | 2004-05-19 |
发明(设计)人: | D·王;C·吴;R·D·米克科拉 | 申请(专利权)人: | 希普雷公司 |
主分类号: | C25D3/38 | 分类号: | C25D3/38 |
代理公司: | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人: | 郭建新 |
地址: | 美国马*** | 国省代码: | 美国;US |
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摘要: | 本发明提供了用来提供平的或均匀的金属沉积物的化合物。这些化合物特别适用于提供平的铜沉积物。还公开了使用这些化合物的铜电镀液和进行铜电镀的方法。这些电镀液和方法可用于在具有小孔的基体上提供平面化的铜层。该组合物和方法提供了完全填充的小孔,并减少了空隙的形成。 | ||
搜索关键词: | 匀平剂 化合物 | ||
【主权项】:
1、含一种或多种选自硫、氮和硫与氮组合的杂原子的化合物、烯化氧化合物和式(I)化合物的反应产物,其中,X=卤素,R=H、(C1~C12)烷基或取代的(C1~C12)烷基。
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