[发明专利]制造构件图形、配线结构体、电子源和图像显示装置的方法无效
| 申请号： | 03178640.5 | 申请日： | 2003-07-18 |
| 公开（公告）号： | CN1479337A | 公开（公告）日： | 2004-03-03 |
| 发明（设计）人： | 山田修嗣;蜂巢高弘;目黒忠靖 | 申请（专利权）人： | 佳能株式会社 |
| 主分类号： | H01J9/00 | 分类号： | H01J9/00;H01J9/02;H01L21/027;G03F7/00 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人： | 付建军 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供制造构件图形、配线结构体、电子源、图像显示装置的方法。在基板上具备图形化构件的构件图形的制造方法，包括：使施加到基板上的负性感光材料的所要求区域从第一方向进行曝光的第一曝光工序；从与上述第一曝光方向的相反的第二方向进行曝光的第二曝光工序；在上述曝光工序之后进行显影而形成上述构件的前体图形的显影工序；以及对上述前体图形进行焙烧的工序。 | ||
| 搜索关键词： | 制造 构件 图形 结构 电子 图像 显示装置 方法 | ||
【主权项】：
1.一种构件图形的制造方法，是一种在基板上具备图形化构件的构件图形的制造方法，其特征在于包括：使施加到基板上的负性感光材料的所要求区域从第一方向进行曝光的第一曝光工序；从与上述第一曝光方向的相反的第二方向进行曝光的第二曝光工序；在上述曝光工序之后进行显影而形成上述构件的前体图形的显影工序；以及对上述前体图形进行焙烧的工序。
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