[发明专利]抗蚀剂剥离装置无效
| 申请号： | 03178649.9 | 申请日： | 2003-07-18 |
| 公开（公告）号： | CN1477451A | 公开（公告）日： | 2004-02-25 |
| 发明（设计）人： | 中川俊元;小川修;森田悟;小早川泰之;菊川诚 | 申请（专利权）人： | 长濑产业株式会社;株式会社平间理化研究所;长濑CMS科学技术株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/42 | 分类号： | G03F7/42 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人： | 王健 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明公开了一种抗蚀剂剥离装置，具有收容粘附抗蚀剂的基板、向该基板上供给抗蚀剂剥离液的抗蚀剂剥离室，与前述抗蚀剂剥离室相连接、导入含该抗蚀剂剥离室内的抗蚀剂剥离液成分的混合气、分离该混合气中的该抗蚀剂剥离液成分的气液分离部分，与前述气液分离部分相连接、把分离的前述抗蚀剂剥离液成分供给前述抗蚀剂剥离室内的回收抗蚀剂剥离液供给部分。 | ||
| 搜索关键词： | 抗蚀剂 剥离 装置 | ||
【主权项】：
1.抗蚀剂剥离装置，其特征在于，具有收容粘附抗蚀剂的基板、向该基板上供给抗蚀剂剥离液的抗蚀剂剥离室，与前述抗蚀剂剥离室相连接、导入含该抗蚀剂剥离室内的抗蚀剂剥离液成分的混合气、分离该混合气中的该抗蚀剂剥离液成分的气液分离部分，与前述气液分离部分相连接、把分离的前述抗蚀剂剥离液成分供给前述抗蚀剂剥离室内的回收抗蚀剂剥离液供给部分。
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