[发明专利]有机场致发光膜蒸镀用蒸镀源有效
申请号: | 03178764.9 | 申请日: | 2003-07-18 |
公开(公告)号: | CN1487116A | 公开(公告)日: | 2004-04-07 |
发明(设计)人: | 金起范;金相大;韩允洙;卓润兴;金锡洲 | 申请(专利权)人: | LG电子株式会社 |
主分类号: | C23C14/26 | 分类号: | C23C14/26;C23C14/12 |
代理公司: | 中原信达知识产权代理有限责任公司 | 代理人: | 张天舒;袁炳泽 |
地址: | 韩国*** | 国省代码: | 韩国;KR |
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摘要: | 本发明提供了可以补偿加热装置与蒸镀材料表面之间的间隔变化的、用于形成有机场致发光膜的蒸镀源。包括:容器,由上部板、侧壁和底构件构成;加热装置,对蒸镀材料提供热量;以及移动装置,根据探测装置的信号进行工作,移动加热装置,加热装置借助于移动装置向下移动,使得加热装置与蒸镀材料表面之间的间隔维持初始设定值。探测装置和加热装置设置在上部板上,移动装置包括:多个缸筒,使上部板上下移动;以及控制装置,接收探测装置的信号,当上部板与蒸镀材料表面之间的间隔比设定的间隔大时,使缸筒工作,沿侧壁向下移动上部板。 | ||
搜索关键词: | 机场 发光 膜蒸镀用蒸镀源 | ||
【主权项】:
1.一种有机场致发光膜蒸镀用蒸镀源,设置在真空室内,借助于施加的电源进行加热,将热量传递到在其内部放置的蒸镀材料,使在内部生成的蒸镀材料的蒸气进行喷射,在基板表面形成蒸镀膜,其特征在于,包括:容器,由形成有蒸气放出开口的上部板、侧壁和底构件构成;加热装置,对放置在上述容器内的蒸镀材料提供热量;以及移动装置,根据与上述加热装置和上述蒸镀材料表面之间的变化的间隔相关的探测装置的信号进行工作,使上述加热装置移动,上述加热装置借助于上述移动装置向下移动,使得上述加热装置与蒸镀材料表面之间的间隔维持初始设定值。
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