[实用新型]常压射频圆筒形外射冷等离子体发生器

摘要

一种新型的圆筒形外射冷等离子体发生器，包括一圆筒形外壳，其特征在于：该圆筒形地电极一端封闭，于该圆筒形外壳的筒壁上设有多个小孔喷口，另一端与射频电源和供气源连接，该圆筒形外壳与地连接，也称为地电极，该地电极圆筒内包覆有一同心的中空圆筒形射频电极，该射频电极圆筒的筒壁上也对应设有多个小孔喷口，该射频电极与射频电源连接，该射频电极的内腔通过进气导管与供气源连接，该地电极与该射频电极的两个端部分别设有绝缘体，在两个端部绝缘体之间形成圆筒形缝隙，在该缝隙中形成射频放电产生冷等离子体，该冷等离子体经过地电极圆筒多个小孔喷口向四周喷出，放电是在常压下进行的。本实用新型能在大气压下产生低温、大面积、由射频低电压击穿并保持稳定放电的冷等离子体束流，从而为等离子体技术在物体表面清洗、杀菌、消毒，特别为管道内壁表面的清洗、杀菌、消毒和表面改性等的应用开辟了道路。

主权项

1、一种新型的圆筒形外射冷等离子体发生器，包括圆筒外壳、射频电源、供气源，其特征在于：该圆筒外壳一端封闭，另一端与射频电源和供气源连接，该圆筒外壳与地连接，也称为地电极，于该地电极圆筒外壳的筒壁上设有多个小孔喷口，该地电极圆筒内包覆有一同心的中空圆筒形射频电极，该射频电极通过电缆与射频电源连接，该射频电极的筒壁上也对应设有多个小孔喷口，该射频电极内腔通过进气导管与供气源连接，在地电极与射频电极的两个端部分别设有绝缘体使两个电极绝缘，在两个绝缘体之间设有圆筒形缝隙，在该缝隙中形成放电区间产生冷等离子体，该冷等离子体经过地电极圆筒筒壁的多孔喷口向外喷出，放电是在常压下进行的。