[实用新型]全氟化物废气等离子处理装置无效
| 申请号： | 03207888.9 | 申请日： | 2003-09-10 |
| 公开（公告）号： | CN2633410Y | 公开（公告）日： | 2004-08-18 |
| 发明（设计）人： | 郑石治;蔡尤溪 | 申请（专利权）人： | 华懋科技股份有限公司 |
| 主分类号： | B01D53/70 | 分类号： | B01D53/70 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人： | 陈桢 |
| 地址： | 台湾省*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 一种全氟化物废气等离子处理装置，包含：一等离子反应器，由一废气进口、一等离子火炬、一反应室组成；一水槽，位于该等离子等反应器下方，在水槽的上方位于反应室出口处设有一喷水器组；一湿式洗涤塔，位于水槽的上方；一水泵连接水槽和该湿式洗涤塔上端的另一喷水器组。引入废气与高温等离子火炬直接作用，再进入反应室内处理，废气经过喷水器组降温后，再引入一湿式洗涤塔处理后予以排放，此一湿式洗涤塔的循环用水由一水槽供应。本实用新型装置示范处理C2F6的破坏去除率可达99.9％，甚具环保价值，同时可以处理多种全氟化物废气，可将CF4、C2F6与NF3等有害废气的化学键加以破坏、分解且去除效率可达99％以上。 | ||
| 搜索关键词： | 氟化物 废气 等离子 处理 装置 | ||
【主权项】：
1、一种全氟化物废气等离子处理装置，其特征在于，包含：一等离子反应器，该等离子反应器由一废气进口、一等离子火炬、一反应室组成；一水槽，位于该等离子等反应器下方，在水槽的上方位于反应室出口处设有一喷水器组；一湿式洗涤塔，位于水槽的上方；一水泵连接水槽和该湿式洗涤塔上端的另一喷水器组。
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