[实用新型]具有隔离阀门的气体激光器无效
申请号: | 03209962.2 | 申请日: | 2003-08-22 |
公开(公告)号: | CN2655475Y | 公开(公告)日: | 2004-11-10 |
发明(设计)人: | 楼祺洪 | 申请(专利权)人: | 中国科学院上海光学精密机械研究所 |
主分类号: | H01S3/02 | 分类号: | H01S3/02 |
代理公司: | 上海新天专利代理有限公司 | 代理人: | 张泽纯 |
地址: | 201800上*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 一种具有隔离阀门的气体激光器,包括激光放电室,其特点是在该放电室的两端各设有一气体隔离阀门,该气体隔离阀门外为气体隔离室,该隔离室有二个出口,出口连接真空泵,出口连接激光混合气体瓶,隔离室另一端为激光腔片,激光放电室还设有气口。本实用新型具有投资少,更换或清洗腔片方便,运行成本低的优点。 | ||
搜索关键词: | 具有 隔离 阀门 气体 激光器 | ||
【主权项】:
1.一种具有隔离阀门的气体激光器,包括激光放电室(1),其特征是在该放电室(1)的两端各设有一气体隔离阀门(2),该气体隔离阀门(2)外为气体隔离室(3),该隔离室(3)有二个出口,出口(5)连接真空泵,出口(6)连接激光混合气体瓶,隔离室(3)另一端为激光腔片(4)和(9),激光放电室(1)还设有气口(7)。
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