[实用新型]双层双面平面微线圈

摘要

本实用新型属于微机械构件，涉及一种对微型平面线圈的改进。包括：衬底1、上、下绝缘层2、3，上、下一层电铸阴极4、5，上、下一层微线圈6、7，上、下一层微线圈绝缘层8、9，上二层电铸阴极10、16，下二层电铸阴极11、17，上、下二层微线圈12、13，上、下保护层14、15，上、下附加磁芯18、19，磁芯20，解决了单面线圈引起平面微电机的单边拉力、电磁力矩小的问题。在相同体积下可增加平面微电机的电磁力矩。采用硅材料使微线圈便于与电路及其它微器件集成。本实用新型提供了一种平面微线圈的电磁力大、减少了体积的双层双面平面微线圈制作方法。可应用于工业、航天、军事、医学及科学研究等领域。

主权项

1、双层双面平面微线圈，包括：衬底(1)、上绝缘层(2)、上一层电铸阴极(4)、上一层微线圈(6)、上一层微线圈绝缘层(8)、上二层电铸阴极(10)、上二层微线圈(12)、上保护层(14)，其特征在于还包括有：下绝缘层(3)、下一层电铸阴极(5)、下一层微线圈(7)、下一层微线圈绝缘层(9)、下二层电铸阴极(11)、下二层微线圈(13)、下保护层(15)、上二层电铸阴极(16)、下二层电铸阴极(17)、上附加磁芯(18)、下附加磁芯(19)、磁芯(20)，上绝缘层(2)和下绝缘层(3)分别位于衬底(1)的上、下表面并与之接触，上一层电铸阴极(4)和下一层电铸阴极(5)分别位于上绝缘层(2)、下绝缘层(3)表面并与之接触，上一层微线圈(6)和下一层微线圈(7)分别位于上一层电铸阴极(4)和下一层电铸阴极(5)表面并与之接触，上一层微线圈绝缘层(8)和下一层微线圈绝缘层(9)分别位于上一层微线圈(6)和下一层微线圈(7)表面并与之接触，上二层电铸阴极(10)和下二层电铸阴极(11)分别位于上一层微线圈绝缘层(8)和下一层微线圈绝缘层(9)表面并与之接触，上二层电铸阴极(16)、下二层电铸阴极(17)分别位于磁芯(20)的上、下表面并与之接触，磁芯(20)穿过衬底(1)并与之接触，上附加磁芯(18)和下附加磁芯(19)分别位于上二层电铸阴极(16)和下二层电铸阴极(17)表面并与之接触，上二层微线圈(12)和下二层微线圈(13)分别位于上二层电铸阴极(10)和下二层电铸阴极(11)表面并与之接触，上保护层(14)和下保护层(15)分别覆盖于上二层微线圈(12)和下二层微线圈(13)以及上附加磁芯(18)和下附加磁芯(19)表面并与之接触。