[实用新型]一种测量工件平行度的装置无效
申请号: | 03219409.9 | 申请日: | 2003-01-17 |
公开(公告)号: | CN2597944Y | 公开(公告)日: | 2004-01-07 |
发明(设计)人: | 倪厚坤;章海鹰 | 申请(专利权)人: | 中国科学院国家天文台南京天文光学技术研究所 |
主分类号: | G01B11/26 | 分类号: | G01B11/26;G01B9/02 |
代理公司: | 南京天翼专利代理有限责任公司 | 代理人: | 汤志武 |
地址: | 210042 江苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 一种测量工件平行度的装置,包括光源、反射镜、透镜、置于两块标准平晶之间的被测工件及平面干涉仪,其特征是工件的两被测面与平晶之间为点接触。在两平晶的夹持工件面上分别固定三个形状、尺寸完全一致的钢球夹持点,工件两面的夹持钢球点位置一一对应。也可将钢球置于保持架上,钢球直径大于保持架厚度,钢球直径两点分别与工件及平晶接触,保持架与平晶固定。每个面上的三个钢球最好呈等边三角形布置。 | ||
搜索关键词: | 一种 测量 工件 平行 装置 | ||
【主权项】:
1、一种测量工件平行度的装置,包括光源、反射镜、透镜、置于两块标准平晶之间的被测工件及平面干涉仪,其特征是工件的两被测面与平晶之间为点接触。
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