[实用新型]差动离焦并行全场三维检测装置

摘要

差动离焦并行全场三维检测装置，由光学探头、图像采集处理和位移机构组成，以中心点同处在a光轴线上、自一侧至另一侧依次设置点光源、准直透镜、微透镜阵列、针孔阵列、a分束镜、物镜和可轴向移动的被测物载台；其特征是设置差动探测机构，在a分束镜的反射光轴线上设置b分束镜，在b分束镜的反射光轴线上以及在其透射光轴线上，分别设置反射光和透射光CCD探测器，两探测器的探测面在各自的光轴线上离焦设置，离焦距离相等、方向相反。本实用新型有效解决测量分辨率和速度间矛盾；有效抑制光源噪声和漂移产生的影响，提高测量精度。

主权项

1、差动离焦并行全场三维检测装置，由光学探头、CCD图像采集处理和位移机构组成，所述光学探头以中心点同处在a光轴线(1)上、自一侧至另一侧依次设置为点光源(2)、准直透镜(3)、微透镜阵列(4)、针孔阵列(5)、a分束镜(6)、物镜(7)和可轴向移动的被测物载台(8)；其中a分束镜(6)的反射面与物镜(7)所在平面成45度角；其特征是设置差动探测机构，所述差动探测机构是在所述a分束镜(6)的反射光b光轴线(10)上设置b分束镜(9)，在所述b分束镜(9)的反射光c光轴线(12)上以及在其透射光b光轴线(10)上，分别设置反射光CCD探测器(13)和透射光CCD探测器(11)，两组探测器的探测面在各自的光轴线上离焦设置，并且两探测面离焦距离相等，离焦方向相反。