[实用新型]基于压电驱动器的二维超精密定位、抑振微动工作平台

摘要

本实用新型公开了一种基于压电驱动器的二维超精密定位、抑振微动工作平台。在金属平板上的X、Y方向上开有通槽，形成柔性铰链臂和柔性铰链的Y向工作平台；位于Y向工作平台内的金属平板的X、Y方向上开有另一通槽，形成柔性铰链臂和柔性铰链的X向工作平台，在X、Y向的工作平台上分别对称装有一对压电驱动器。它是一种复合平行四杆结构，具有导向精度高、无间隙、导轨定位分辨率高、加工精度易于保证、不需要装配等优点。在同一方向上采用双驱动器形式，且两维工作平台构成镶嵌形式，消除了相互之间的位移耦合，使整个微动系统具有很高的定位精度和较好的抑振效果。本实用新型可用于高精度、超高精度的切削加工定位，同时适用精密仪器设备的抑振、减振。

主权项

1.一种基于压电驱动器的二维超精密定位、抑振微动工作平台，其特征在于：1)在金属平板(1)两边的Y方向上分别开有一条相向对称的敞框形直通槽，两个敞框形直通槽的两短边分别有两个向内凸出的乳状直通槽，在金属平板两边的X方向上分别对称开有两个为一组的两组向外凸出的乳状直通槽，并相互连通，分别与两敞框形直通槽两短边的两个向内凸出的乳状直通槽相对应，分别形成四个Y向柔性铰链臂(3)和八个Y向柔性铰链(4)，X方向的两组乳状直通槽中间还开有通槽，两个Y向压电驱动器(17)的前后部分别套上Y向驱动器前套(16)和后套(18)，前套(16)的顶端顶在Y向驱动器定位槽(15)中，用装在Y向驱动器预紧螺孔(19)内的螺钉顶在后套(18)上固定，形成Y向工作平台(5)；2)位于Y向工作平台(5)内的金属平板(1)两边的X方向上分别开有一条相向对称的敞框形直通槽，两个敞框形直通槽的两短边分别有两个向内凸出的乳状直通槽，在金属平板两边的Y方向上分别对称开有两个为一组的两组向外凸出的乳状直通槽，并相互连通，分别与两敞框形直通槽两短边的两个向内凸出的乳状直通槽相对应，分别形成四个X向柔性铰链臂(7)和八个X向柔性铰链(6)，Y方向的两组乳状直通槽中间还开有通槽，两个X向压电驱动器(17)的前后部分别套上X向驱动器前套(10)和后套(13)，前套(10)的顶端顶在X向驱动器定位槽(11)中，用装在X向驱动器预紧螺孔(14)内的螺钉顶在后套(13)上固定，形成X向工作平台(8)。