[实用新型]基于压电驱动器的二维超精密定位、抑振微动工作平台无效

专利信息
申请号: 03230407.2 申请日: 2003-04-14
公开(公告)号: CN2621876Y 公开(公告)日: 2004-06-30
发明(设计)人: 魏燕定;黄金永;吕永桂 申请(专利权)人: 浙江大学
主分类号: B23Q1/25 分类号: B23Q1/25;B23Q5/22;G01B21/00;G12B5/00;F16F15/02
代理公司: 杭州求是专利事务所有限公司 代理人: 林怀禹
地址: 310027浙*** 国省代码: 浙江;33
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摘要: 实用新型公开了一种基于压电驱动器的二维超精密定位、抑振微动工作平台。在金属平板上的X、Y方向上开有通槽,形成柔性铰链臂和柔性铰链的Y向工作平台;位于Y向工作平台内的金属平板的X、Y方向上开有另一通槽,形成柔性铰链臂和柔性铰链的X向工作平台,在X、Y向的工作平台上分别对称装有一对压电驱动器。它是一种复合平行四杆结构,具有导向精度高、无间隙、导轨定位分辨率高、加工精度易于保证、不需要装配等优点。在同一方向上采用双驱动器形式,且两维工作平台构成镶嵌形式,消除了相互之间的位移耦合,使整个微动系统具有很高的定位精度和较好的抑振效果。本实用新型可用于高精度、超高精度的切削加工定位,同时适用精密仪器设备的抑振、减振。
搜索关键词: 基于 压电 驱动器 二维 精密 定位 微动 工作 平台
【主权项】:
1.一种基于压电驱动器的二维超精密定位、抑振微动工作平台,其特征在于:1)在金属平板(1)两边的Y方向上分别开有一条相向对称的敞框形直通槽,两个敞框形直通槽的两短边分别有两个向内凸出的乳状直通槽,在金属平板两边的X方向上分别对称开有两个为一组的两组向外凸出的乳状直通槽,并相互连通,分别与两敞框形直通槽两短边的两个向内凸出的乳状直通槽相对应,分别形成四个Y向柔性铰链臂(3)和八个Y向柔性铰链(4),X方向的两组乳状直通槽中间还开有通槽,两个Y向压电驱动器(17)的前后部分别套上Y向驱动器前套(16)和后套(18),前套(16)的顶端顶在Y向驱动器定位槽(15)中,用装在Y向驱动器预紧螺孔(19)内的螺钉顶在后套(18)上固定,形成Y向工作平台(5);2)位于Y向工作平台(5)内的金属平板(1)两边的X方向上分别开有一条相向对称的敞框形直通槽,两个敞框形直通槽的两短边分别有两个向内凸出的乳状直通槽,在金属平板两边的Y方向上分别对称开有两个为一组的两组向外凸出的乳状直通槽,并相互连通,分别与两敞框形直通槽两短边的两个向内凸出的乳状直通槽相对应,分别形成四个X向柔性铰链臂(7)和八个X向柔性铰链(6),Y方向的两组乳状直通槽中间还开有通槽,两个X向压电驱动器(17)的前后部分别套上X向驱动器前套(10)和后套(13),前套(10)的顶端顶在X向驱动器定位槽(11)中,用装在X向驱动器预紧螺孔(14)内的螺钉顶在后套(13)上固定,形成X向工作平台(8)。
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