[实用新型]一种用于薄膜制备的流延装置无效
| 申请号： | 03233438.9 | 申请日： | 2003-03-07 |
| 公开（公告）号： | CN2605080Y | 公开（公告）日： | 2004-03-03 |
| 发明（设计）人： | 张林;杜凯;周兰;李达言 | 申请（专利权）人： | 中国工程物理研究院激光聚变研究中心 |
| 主分类号： | B05D7/04 | 分类号： | B05D7/04;B29C41/30 |
| 代理公司： | 中国工程物理研究院专利中心 | 代理人： | 翟长明 |
| 地址： | 621900四川*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种用于薄膜制备的流延装置，该装置包括用导管依次连接的储液槽(1)、泵(2)、转子流量计(3)、减震装置(4)、阀门(5)和涂膜槽(6)，基片夹具(7)悬挂于涂膜槽中，夹持部分内侧开有贯通的溢流槽。使用该装置能非常方便地完成基片的均匀涂膜，而且可防止在所涂薄膜下端形成“泪斑”。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 薄膜 制备 装置 | ||
【主权项】：
1.一种用于薄膜制备的流延装置，包括储液槽(1)、泵(2)、转子流量计(3)、阀门(5)和涂膜槽(6)，所述的储液槽(1)、泵(2)、转子流量计(3)、阀门(5)和涂膜槽(6)依次用导管相连接，基片夹具(7)位于涂膜槽(6)上，其特征在于：转子流量计(3)和阀门(5)之间连接有减震装置(4)。
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