[实用新型]常压射频和直流混合型冷等离子体发生器

摘要

常压射频和直流混合型冷等离子体发生器，包括喷枪、射频电源、直流电源、供气源，其特征在与：该喷枪包括一外壳，该外壳一端封闭，另一端设有喷口，于该外壳内设有射频电极和包覆在该射频电极外围的地电极，以及在地电极以外的直流电极，该射频电极与射频电源连接，该地电极接地，该直流电极与直流电源连接，该射频电极，该地电极和该直流电极之间分别设有绝缘体，该射频电极与该地电极之间形成射频放电区间，该地电极和该直流电极之间形成直流放电区间，该直流放电区间称为直流加速段，该射频放电区间一端与进气导管相通，该进气导管与供气源连通，另一端通过地电极多孔喷口与该直流加速段贯通，经射频放电区间击穿电离后的气体形成等离子体，该等离子体通过地电极多孔喷口流入直流加速段，再经直流加速段内直流电场的进一步电离和加速后，由外壳喷口向外喷出，放电是在常压下进行的。本实用新型能在大气压下稳定工作并产生低电压、大面积、由射频低电压击穿电离，并有直流偏压电场进一步加速和电离的冷等离子体束流，从而为等离子体技术在清洗、杀菌、消毒等广泛领域的应用开辟了道路。

主权项

1、一种常压射频和直流混合型冷等离子体发生器，包括喷枪、射频电源、直流电源、供气源，其特征在于：于该喷枪包括一外壳，该外壳一端封闭，另一端设有喷口，于该外壳内设有射频电极、包覆在该射频电极外围的地电极，以及直流电极。该射频电极与射频电源连接，该地电极接地，该直流电极与直流电源连接，该射频电极与地电极之间设有绝缘体，该直流电极与地电极之间也设有绝缘体，该射频电极与地电极之间设有放电区间，该放电区间一端与进气导管相通，该进气导管与供气源连通，另一端与直流放电区间贯通，气体经射频放电区电离后，流经直流放电区进一步得到电离和加速，后经过喷口向外喷出冷等离子体束流，放电是在常压下进行的。