[实用新型]用于激光微处理的体视显微装置无效
| 申请号： | 03241462.5 | 申请日： | 2003-05-07 |
| 公开（公告）号： | CN2615684Y | 公开（公告）日： | 2004-05-12 |
| 发明（设计）人： | 王锋;黄恒 | 申请（专利权）人： | 武汉凌云光电科技有限责任公司 |
| 主分类号： | G02B21/20 | 分类号： | G02B21/20;G02B21/00;H01S5/00 |
| 代理公司： | 武汉楚天专利事务所 | 代理人： | 雷速 |
| 地址： | 430030湖*** | 国省代码： | 湖北;42 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型涉及一种用于激光微处理的体视显微装置，属于光电显微技术领域。本装置由激光发生器、光束扩束器、体视显微镜、压电陶瓷扫描组件等构成。其特征是，现有体视显微镜中的双色镜，被压电陶瓷扫描组件所取代，压电陶瓷扫描组件由电驱动压电陶瓷扫描器和扫描激光反射器组成，电驱动压电陶瓷扫描器由三根压电陶瓷棒和固定支撑架构成，其中二根棒含有电极，另一根为支撑棒；扫描激光反射器由激光反射镜和直角镜座构成。本装置具有结构紧凑，体积小巧，性能良好，加工简易，成本低廉，操作方便，对材料处理效果好，精度高，易于组织工业化生产等优点；它可以广泛地应用于材料微小区域的精密加工处理，标记等领域。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 激光 处理 体视 显微 装置 | ||
【主权项】：
1、一种用于激光微处理的体视显微装置，由激光发射器(1)、光束扩束器(2)、体视显微镜和压电陶瓷扫描组件等构成，体视显微镜由显微目镜组(3)和(4)，显微物镜(8)及镜体组成，其特征是，压电陶瓷扫描组件由电驱动压电陶瓷扫描器(10)和扫描激光反射器(11)构成；压电陶瓷扫描器(10)由两根以上的压电陶瓷棒(14)及固定支撑架(12)组成；扫描激光反射器(11)由激乐反射镜(17)和直角镜座(16)组成；固定支撑架(12)被固定在体视显微镜的镜体上，激光反射镜(17)固定在直角镜座(16)上，直角镜座(16)通过三根压电陶瓷棒(14)，其中二根陶瓷棒含有电极(13)和(15)被固定在支撑架(12)上，陶瓷棒(14)含有电极(13)和(15)的两根压电陶瓷棒(14)，其长度分别通过加载在电极(13)和(15)上的电压大小来分别进行调节，并用以控制激光反射镜(17)在水平方向和垂直方向上的偏转，从而实现激光束(7)到达物镜(8)上的二维角度扫描，通过物镜(8)的聚焦作用，实现了激光束在物镜(8)的焦平面即样品(9)表面上焦点位置的二维扫描；同时，样品(9)上的光被显微镜的显微物镜(8)准直通过双通道(5)到达目镜组(3)和(4)，成为被人眼可视的像。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于武汉凌云光电科技有限责任公司，未经武汉凌云光电科技有限责任公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/03241462.5/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：紧套光纤
- 下一篇：用于紫外激光对材料微处理的体视显微装置
