[实用新型]用于紫外激光对材料微处理的体视显微装置

摘要

本实用新型涉及一种用于紫外激光对材料微处理的体视显微装置，属于光电显微技术领域。该装置由激光发射器，光束扩束器，体视显微镜，双色镜和待处理样品等构成。其特征是：利用环形显微物镜和短焦距聚焦透镜取代了现有显微镜中的物镜，聚焦透镜设置在环形显微物镜与样品之间。该装置具有设计新颖、结构紧凑、加工简便、工作性能良好、操作简易，对材料处理，加工效果好，成本低廉易于大批量工业化生产。该装置可广泛地用于材料微小区域的精细、精密加工、处理、标记等领域，它既可实现在紫外激光上的应用，也可以应用于可见和红外激光，有效地减少激光在样品上的腰斑直径，实现更为精细的激光材料处理。

主权项

1、一种用于紫外激光对材料微处理的体视显微装置由激光发射器(1)、光束扩束器(2)、体视显微镜、双色镜(6)、激光束(7)和样品(9)等构成，体视显微镜由显微目镜组(3)、(4)，双通道(5)和镜体等组成，其特征是，在体视显微系统中，利用两个分离的透镜(10)和(11)取代了现有的体视显微镜中的物镜(8)，透镜(10)为环形显微物镜，透镜(11)为激光聚焦透镜且设置在透镜(10)与样品(9)之间；激光发射器(1)输出的激光经过光束扩束器(2)之后被扩束，进入体视显微镜，通过双色镜(6)被导入反射进入体视显微系统成为激光束(7)，激光束(7)被聚焦透镜(11)聚焦到样品(9)上，样品(9)反射出的光被中空的环形显微物镜(10)所收集，通过双通道(5)到达目镜组(3)、(4)成为被人眼可视或CCD镜头实时监视的像。