[实用新型]在线真空测量装置无效

专利信息
申请号: 03241941.4 申请日: 2003-06-23
公开(公告)号: CN2634458Y 公开(公告)日: 2004-08-18
发明(设计)人: 李听团;刘俊轩 申请(专利权)人: 彩虹彩色显像管总厂
主分类号: G01L23/00 分类号: G01L23/00
代理公司: 西安通大专利代理有限责任公司 代理人: 陆万寿
地址: 71202*** 国省代码: 陕西;61
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要: 实用新型公开了一种在线真空测量装置,包括真空规管和真空度测量仪,真空规管上设置有与之相互连接的导电电刷,导电电刷通过汇流排与真空度测量仪相互连接。本实用新型实现了蒸铝装置真空度在生产过程中进行在线测量,从而提高了生产效率、使产品的品位得到了量化的保证。
搜索关键词: 在线 真空 测量 装置
【主权项】:
1.一种在线真空测量装置,包括真空规管(1)和真空度测量仪(4),其特征在于:真空规管(1)上设置有与之相互连接的导电电刷(2),导电电刷(2)通过汇流排(3)与真空度测量仪(4)相互连接。
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