[实用新型]纵向热处理装置

摘要

本实用新型提供一种纵向热处理装置(1)，可以对旋转轴进行充分冷却、可以提高轴承和密封构件的耐用性、可以应对高温热处理。在开闭纵向热处理炉(2)的炉口(3)的可升降盖体(5)中，配置使装载有多个被处理基片(W)的保持件(13)旋转的旋转机构(15)。旋转机构(15)包含：旋转轴(16)、经由轴承(17)和密封构件(18)可旋转地支撑旋转轴(16)的支撑部(19)。旋转轴(16)形成薄壁中空结构，并且使冷却用气体在其内侧和外侧流通。支撑部(19)具有以围绕旋转轴(16)的上侧的方式形成的使冷媒流通的冷却通路(32)。

主权项

1、一种纵向热处理装置，在开闭纵向热处理炉的炉口的可升降盖体上，设置了使装载有多个被处理基片的保持件旋转的旋转机构，其中，前述旋转机构包括：旋转轴；经由轴承和密封构件可旋转地支撑前述旋转轴的支撑部；前述旋转轴以形成薄壁的中空结构且使冷却气体在其内侧和外侧流通的方式构成，并且，前述支撑部具有以围绕前述旋转轴的上侧的方式形成的、使冷媒流通的冷却通路。