[实用新型]纵向型热处理装置

摘要

本实用新型提供一种纵向型热处理装置(1)，缩短纵向型热处理装置中遮蔽器件的开闭操作时间，并提高其处理能力。具有在从处理室(5)的装载口(4)取出被处理基片(W)时遮蔽装载口(4)的遮蔽器件(17)。遮蔽器件(17)具有对处理室(5)的装载口(4)有选择地进行封闭的装载口盖(18)。装载口盖(18)由驱动部来驱动，而驱动部具备对其进行支撑同时使之移动的伸缩臂(19)。驱动部通过伸缩臂(19)使装载口盖(18)在封闭装载口(4)的封闭位置(PB)和封闭位置(PB)侧向的待机位置(PA)之间进行直线移动。

主权项

1.一种对多个被处理基片一同施以热处理所用的纵向型热处理装置，其具备：收存上述被处理基片的密封处理室，上述处理室在底座部分具有装载口；有选择地对上述处理室的上述装载口进行开放及封闭的盖子；在上述处理室内在相互留出间隔并重叠的状态下保持上述被处理基片的保持器具；对上述处理室内提供处理气体的供应系统；排出上述处理室内的气体的排气系统；对上述处理室的内部空气进行加热的加热装置；在将保持上述被处理基片的上述保持器具支撑于上述盖子上的状态下，使上述盖子进行升降的升降机；从上述处理室的上述装载口取出上述被处理基片时遮蔽上述装载口的遮蔽器件；并且上述遮蔽器件，具备对上述处理室的上述装载口有选择地进行封闭的装载口盖；备有对上述装载口盖进行支撑的同时使之移动的伸缩臂的驱动部；上述驱动部通过上述伸缩臂，使上述装载口盖在封闭上述装载口的封闭位置和上述封闭位置侧方的待机位置之间进行直线移动。