[实用新型]矩形平面多弧靶

摘要

一种矩形平面多弧靶，包括绝缘盒、屏蔽板、磁体固定板、靶固定框、磁体、阴极靶、进水管、出水管。阴极靶的形状为矩形平面板，使磁场分量在矩形平面靶表面形成一个矩形磁环跑道。由于阴极靶的形状改变，靶固定框为与阴极靶相匹配的矩形框，绝缘盒为与靶固定框相匹配的矩形盒，磁体固定板为与绝缘盒相匹配的矩形板。此种矩形平面多弧靶不仅刻蚀区域大，镀膜均匀区宽，镀膜工艺重复性好，而且一台镀膜机仅需配置一个，操作者只需引一次弧，关注一个弧源的放电情况，因而镀膜机整机造价降低，操作更为方便。

主权项

1、一种矩形平面多弧靶，包括绝缘盒(2)、屏蔽板(1)、磁体固定板(8)、靶固定框(3)、磁体(4)、阴极靶(5)、进水管(10)、出水管(7)，屏蔽板与绝缘盒连接，磁体固定板位于绝缘盒底部，磁体放置在磁体固定板上，靶固定框位于绝缘盒内且其一端与磁体固定板相贴，阴极靶安放在靶固定框的另一端，阴极靶、靶固定框和磁体固定板通过连接件连接成一体，进水管、出水管安装在绝缘盒底部并与阴极靶、靶固定框和磁体固定板围成的腔体接通，其特征在于阴极靶(5)的形状为矩形平面板，靶固定框(3)为与阴极靶相匹配的矩形框，绝缘盒(2)为与靶固定框相匹配的矩形盒，磁体固定板(8)为与绝缘盒相匹配的矩形板。