[实用新型]电感耦合等离子体全谱仪

摘要

本实用新型的电感耦合等离子体全谱仪属一种原子光谱分析用多波长同时检测原子发射光谱的装置。结构由样品引入系统、射频功率源系统、ICP光源、分光检测系统和计算机控制及显示、打印系统构成；射频功率源系统使用带有自动阻抗匹配网络的全固态晶体管控制的射频发生器；分光检测模块按光路顺序由入射狭缝9、准直球面凹面镜10、石英棱镜11、中阶梯光栅12、聚焦球面凹面镜13和二维阵列检测器14组成，各元件固定安装。本实用新型预热时间短，具有良好的功率输出稳定性，提高测量速度和灵敏度，操作简单使用方便，用少量的样品溶液实现全部波长范围内光谱信息同时检测。

主权项

1、一种电感耦合等离子体全谱仪，结构由样品引入系统(1)、射频功率源系统(2)、ICP光源(3)、分光检测系统(4)和计算机控制及显示、打印系统(5)构成；其特征在于，射频功率源系统(2)使用带有自动阻抗匹配网络的全固态晶体管控制的射频发生器，由自动阻抗匹配网络(17)、匹配网络控制器(18)、射频功率源(16)电连接构成，射频功率源(16)的射频输出端(19)与自动阻抗匹配网络(17)的射频输入端(20)通过同轴传输电缆(21)连接，自动阻抗匹配网络(17)接受匹配网络控制器(18)控制，射频发生器采用风冷系统；分光检测系统(4)由光路单元和分光检测模块构成；所说的光路单元包括会聚透镜和光纤(8)，会聚透镜安置在ICP光源(3)的炬焰和光纤(8)的一个端头之间，光纤(8)的另一个端头与分光检测模块的入射狭缝(9)相对；所说的分光检测模块按光路顺序由入射狭缝(9)、准直球面凹面镜(10)、石英棱镜(11)、中阶梯光栅(12)、聚焦球面凹面镜(13)和二维阵列检测器(14)组成，各元件固定安装。