[实用新型]一种IC晶粒承载架制程设备的清洗设备无效
申请号: | 03256146.6 | 申请日: | 2003-07-30 |
公开(公告)号: | CN2637006Y | 公开(公告)日: | 2004-09-01 |
发明(设计)人: | 李正源 | 申请(专利权)人: | 李正源 |
主分类号: | B08B3/10 | 分类号: | B08B3/10;H01L21/30 |
代理公司: | 上海新天专利代理有限公司 | 代理人: | 刘卫宇 |
地址: | 台湾省高雄县*** | 国省代码: | 中国台湾;71 |
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摘要: | 本实用新型为一种IC晶粒承载架制程设备的清洗设备,该清洗设备为直立式逐次盘绕动线型态,此清洗设备左侧端设一开放式放料端,在开放式放料端斜上缘枢接有压轮,压轮右侧再将清刷段堆设一排,以及直立成排含有水洗一、水洗二、水洗三的水洗槽,再由风刀与其右侧设有烘箱,在烘箱右侧设有主传动组,在主传动组右侧设直立排列的防尘收料端,形成一节省平面空间又可充分利用工厂高度空间的立式清洗设备。 | ||
搜索关键词: | 一种 ic 晶粒 承载 架制程 设备 清洗 | ||
【主权项】:
1.一种IC晶粒承载架制程设备的清洗设备,其特征在于:该清洗设备设为直立式逐次盘绕动线型态,在其左侧设有一开放式放料区(1),此开放式放料区(1)枢接有压轮(2),压轮(2)右侧设有一清刷段(3),以及在清刷段(3)右侧设有一水洗槽(4),水洗槽(4)右侧加装有风刀(5)与一烘箱(6),在烘箱(6)前端设有主传动组(7),在主传动组(7)右侧设一防尘收料端(8)。
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