[实用新型]用于纯化制程的密封器具无效
申请号: | 03257369.3 | 申请日: | 2003-05-06 |
公开(公告)号: | CN2625006Y | 公开(公告)日: | 2004-07-14 |
发明(设计)人: | 庄晃宇;邱耀民;孙嘉聪;许朝荣;伍俊彰 | 申请(专利权)人: | 禄加光电科技股份有限公司 |
主分类号: | B01D7/00 | 分类号: | B01D7/00 |
代理公司: | 厦门市新华专利商标代理有限公司 | 代理人: | 刘兰 |
地址: | 台湾省高雄市前镇*** | 国省代码: | 中国台湾;71 |
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摘要: | 一种用于纯化制程的密封器具,该密封器具包括:本体、封盖、过滤层及至少一个使封盖不会脱离本体的的固定装置,本体内部中空,其具有与其内部连通的取放开口;封盖组设在本体的取放开口上;过滤层至少设置在本体与封盖之一的表面上;固定装置与封盖及本体结合。该密封器具可用于高压及高温的制程中提高产率。 | ||
搜索关键词: | 用于 纯化 密封 器具 | ||
【主权项】:
1、一种用于纯化制程的密封器具,该密封器具包括:本体、封盖、过滤层,本体内部中空,其具有与其内部连通的取放开口;封盖组设在本体的取放开口上;过滤层至少设置在本体与封盖之一的表面上;其特征在于:该密封器具还包括至少一个使封盖不会脱离本体的的固定装置,其与封盖及本体结合。
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