[实用新型]一种用于加工基材的抛光制品无效
| 申请号： | 03257526.2 | 申请日： | 2003-05-07 |
| 公开（公告）号： | CN2737501Y | 公开（公告）日： | 2005-11-02 |
| 发明（设计）人： | Y·胡;Y·王;A·迪布斯特;F·Q·刘;R·马夫列夫;L－Y·陈;R·莫拉德;S·索梅克 | 申请（专利权）人： | 应用材料有限公司 |
| 主分类号： | B24D3/00 | 分类号： | B24D3/00;B24D3/34;H01L21/302 |
| 代理公司： | 北京纪凯知识产权代理有限公司 | 代理人： | 赵蓉民;彭益群 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 提供用于平面化基材表面的制造制品，方法和设备。在一个方面，提供用于抛光基材的包括一个主体的制造制品，该主体具有至少一个适于抛光基材的导电表面，其中该导电表面包括至少一个导电元件，该导电元件包括设置于聚合物材料中的导电填料、采用导电材料涂敷的纤维或其结合物。可以在抛光制品中形成多个穿孔和多个凹槽以促进材料流过并围绕抛光制品流动。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 加工 基材 抛光 制品 | ||
【主权项】：
1.一种用于加工基材的抛光制品，包括一个具有至少一个适于抛光基材的导电表面的主体，其特征在于：所述导电表面包括至少一个导电元件，该导电元件包括设置于聚合物材料中的导电填料，采用导电材料涂敷的纤维，或其结合物。
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