[实用新型]晶圆喷砂机无效
| 申请号： | 03261222.2 | 申请日： | 2003-05-16 |
| 公开（公告）号： | CN2609715Y | 公开（公告）日： | 2004-04-07 |
| 发明（设计）人： | 李义隆 | 申请（专利权）人： | 高侨自动化科技股份有限公司 |
| 主分类号： | B24C1/00 | 分类号： | B24C1/00 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人： | 陈桢 |
| 地址： | 台湾省*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 一种晶圆喷砂机，是包含有：一机台；一容置装置，是设于该机台上，具有一治具及一治具调整轴，该治具是用以供一晶圆放置，并可受该治具调整轴的连动而改变其位置；一影像感测装置，是设于该机台上，具有一影像感测器及一影像调整轴，该影像感测器是用以检测晶圆的位置，并可受该影像调整轴的连动而作上、下的位移；一喷砂装置，是设于该机台上，具有一喷嘴及一喷嘴调整轴，该喷嘴是可以高压输出特定的物质，并可受该喷嘴调整轴的连动而作上、下的位移；一运算处理器，是与该治具调整轴、影像调整轴及该喷嘴调整轴电性连接，使可由该运算处理器来对该治具调整轴、影像调整轴及该喷嘴调整轴作预定位置的控制。 | ||
| 搜索关键词： | 喷砂机 | ||
【主权项】：
1、一种晶圆喷砂机，其特征在于，包含有：一机台；一容置装置，设于该机台上，具有一治具及一治具调整轴，该治具与该治具调整轴的连动；一影像感测装置，设于该机台上，具有一影像感测器及一影像调整轴，该影像感测器与该影像调整轴连动；一喷砂装置，设于该机台上，具有一喷嘴及一喷嘴调整轴，该喷嘴与该喷嘴调整轴连动；一运算处理器，与该治具调整轴、影像调整轴及该喷嘴调整轴电性连接。
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