[实用新型]曝光工序工作版遮光装置无效
| 申请号： | 03262766.1 | 申请日： | 2003-09-15 |
| 公开（公告）号： | CN2664028Y | 公开（公告）日： | 2004-12-15 |
| 发明（设计）人： | 郝现倡;强志峰 | 申请（专利权）人： | 彩虹彩色显像管总厂 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;H01L21/68 |
| 代理公司： | 西安通大专利代理有限责任公司 | 代理人： | 陈翠兰 |
| 地址： | 71202*** | 国省代码： | 陕西;61 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型涉及平板荫罩生产中曝光工序所使用的装置，特别适用于工作版上遮光装置。包括工作版，在工作版上覆盖一层薄不锈钢板。薄不锈钢板的对相应波长紫外线光的遮光率需达到98％以上。薄不锈钢板的厚度为0.15±0.05mm。不锈钢薄板光反射率高，温度低，副作用小，提高遮光率，并可以重复利用，操作方便。本装置在曝光过程中可重复利用、降低生产成本，提高遮光率。 | ||
| 搜索关键词： | 曝光 工序 工作 遮光 装置 | ||
【主权项】：
1、一种曝光工序工作版遮光装置，包括工作版(1)，其特征在于，在工作版(1)上覆盖一层薄不锈钢板(2)。
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