[实用新型]电子束的束流引导装置无效
| 申请号： | 03265294.1 | 申请日： | 2003-06-10 |
| 公开（公告）号： | CN2641816Y | 公开（公告）日： | 2004-09-15 |
| 发明（设计）人： | 唐传祥;孙志超 | 申请（专利权）人： | 清华大学;清华同方威视技术股份有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/147 | 分类号： | H01J37/147 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 100083北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 电子束的束流引导装置，涉及辐照加工技术领域。它包括电子加速器、真空泵及可弯曲和伸缩的束流软管。其结构特点是，束流软管的两端设有引入窗和引出窗使束流软管封闭。束流软管的引入窗与电子加速器的加速管相接，其引出窗可放置在被测物品之处。束流软管的外壁设有可使用循环水冷的线圈绕阻，线圈绕阻的外围设有磁轭。束流软管的初段外壁上设置可使束流软管内真空的真空泵和线圈电源及水冷系统。使用本实用新型可方便、灵活、任意改变电子束流引出位置和方向，无需改变加速器的位置或被照物体的位置及其形状，只需将束流引出窗移动到指定位置即可。具有结构简单、检测成本低的特点。 | ||
| 搜索关键词： | 电子束 引导 装置 | ||
【主权项】：
1.一种电子束的束流引导装置，它包括电子加速器(1)，真空泵(6)及可弯曲和伸缩的束流软管(9)，其特征在于：所述束流软管(9)的两端设有引入窗(4)和引出窗(12)并使束流软管(9)封闭，束流软管(9)的引入窗(4)与所述电子加速器(1)的加速管(2)相接，束流软管(9)的引出窗(12)可放置在被测物品之处，束流软管(9)的外壁设有可使用循环水冷的线圈绕阻(10)，线圈绕阻(10)的外围设有磁轭(11)，束流软管(9)的初段(5)外壁设置可使束流软管(9)内真空的真空泵(6)和提供线圈绕阻(10)的线圈电源及水冷系统(7)。
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