[实用新型]晶圆清洗装置

摘要

本实用新型是关于一种晶圆清洗装置，其包括：一槽体；一晶圆固定架，配置于该槽体中，其上置放有复数片晶圆；一滚动机构，配置于该槽体中，其中滚动机构是与置放于晶圆固定架上的该些晶圆相接触，以藉由该滚动机构带动该些晶圆在晶圆固定架中转动；以及一注水机构，设置在该槽体中，用以供给清洗该些晶圆的清洗液。借由在槽体内装设滚动机构带动晶圆转动，使晶圆清洗时是处于转动状态，而能均匀的对晶圆进行清洗，可避免现有习知晶圆清洗装置产生的缺陷及腐蚀的情形；另外在槽体内装设有可调式注水机构，藉由控制可调式注水机构与滚动机构的相对运动机制，而能够有效的控制槽体内清洗液的流速与流量，进而可增加清洗的效率及均匀度，而非常适于实用。

主权项

1、一种晶圆清洗装置，其特征在于其包括：一槽体；一晶圆固定架，配置于该槽体中，其上置放复数片晶圆；一滚动机构，配置于该槽体中，其中该滚动机构是与置放于该晶圆固定架上的该些晶圆相接触，该滚动机构带动该些晶圆在晶圆固定架中转动；以及一注水机构，设置在该槽体中，供给清洗该些晶圆的清洗液。