[实用新型]微射流阵列冷却热沉无效

专利信息
申请号: 03267135.0 申请日: 2003-07-11
公开(公告)号: CN2632857Y 公开(公告)日: 2004-08-11
发明(设计)人: 夏国栋 申请(专利权)人: 北京工业大学
主分类号: H01L23/473 分类号: H01L23/473
代理公司: 北京思海天达知识产权代理有限公司 代理人: 张慧
地址: 100022*** 国省代码: 北京;11
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摘要: 微射流阵列冷却热沉,属于微电子技术领域,涉及一种冷却装置。本发明包括有依次封装在一起的过流片(1),射流入口腔片(2),射流喷嘴片(3),射流出口片(4),传热片(5);过流片(1)上开有进液口和出液口;射流入口腔片(2)上设有射流入口腔、进液孔和出液孔;射流喷嘴片(3)上设有与射流入口腔和设置在射流出口腔片(4)上的射流出口腔相通的射流喷嘴,连通进液孔和射流入口腔的进液导流通道,连通出液孔和射流出口腔的出液导流通道;射流出口腔片(4)上设有射流出口腔。本实用新型实现了高热流通量传热,具有极高的换热速率,有效地降低了电子器件换热表面的温度,而且能提高换热表面温度分布的均匀性。
搜索关键词: 射流 阵列 冷却
【主权项】:
1、一种微射流阵列冷却热沉,其特征在于,包括有依次封装在一起的过流片(1),射流入口腔片(2),射流喷嘴片(3),射流出口片(4),传热片(5);过流片(1)上开有与外部管路连接的进液口(6)和出液口(7);射流入口腔片(2)上设有射流入口腔(8),在与过流片(1)上的进液口(6)和出液口(7)相对应的位置开有进液孔(9)和出液孔(10);射流喷嘴片(3)上设有与射流入口腔(8)和设置在射流出口腔片(4)上的射流出口腔(14)相通的射流喷嘴(11),连通进液孔(9)和射流入口腔(8)的进液导流通道(12),连通出液孔(10)和射流出口腔(14)的出液导流通道(13);射流出口腔片(4)上在与射流入口腔片(2)的射流入口腔(8)相对应的位置设有射流出口腔(14)。
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