[实用新型]膜式微型陀螺仪及具有该陀螺仪的测量装置无效
| 申请号： | 03272868.9 | 申请日： | 2003-07-14 |
| 公开（公告）号： | CN2636198Y | 公开（公告）日： | 2004-08-25 |
| 发明（设计）人： | 蔡明杰;陈其亮;黄吉川;张杰雄 | 申请（专利权）人： | 财团法人工业技术研究院 |
| 主分类号： | G01C19/56 | 分类号： | G01C19/56 |
| 代理公司： | 隆天国际知识产权代理有限公司 | 代理人： | 潘培坤;楼仙英 |
| 地址： | 台湾省*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 一种膜式微型陀螺仪包含：一基板，在其一上表面上具有一第一电极区；一薄膜，由一支撑单元以固定在该基板上；一上盖，在其一下表面上具有第二电极区。该第一电极区具有多个驱动电极，该第二电极区具有个感测电极。该薄膜在由驱动电极驱动后，会因为一外在角速度、角加速度或一惯性作用力的影响产生额外的变化，进而感测电极感测到此外在的作用力，通过感测电路的设计将此信号输出而完成感测动作。该膜式微型陀螺仪可建立有效的最佳化程序分析、具有多种振动模态；具有高角速度的感测可得到较高的灵敏度。 | ||
| 搜索关键词： | 式微 陀螺仪 具有 测量 装置 | ||
【主权项】：
1、一种膜式微型陀螺仪，其特征在于，包含：一基板，在其一上表面上具有一第一电极区；一薄膜，由一支撑单元固定在该基板上；一上盖，在其一下表面上具有第二电极区。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于财团法人工业技术研究院，未经财团法人工业技术研究院许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/03272868.9/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：角度激光水平尺
- 下一篇：低功耗U盘数据转存的水情智能监测计量仪
