[实用新型]测量电阻率的小游移探针头无效

专利信息
申请号: 03274755.1 申请日: 2003-09-27
公开(公告)号: CN2676211Y 公开(公告)日: 2005-02-02
发明(设计)人: 王世进 申请(专利权)人: 王世进
主分类号: G01R27/02 分类号: G01R27/02;H01L21/66
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 510650广东省广州市*** 国省代码: 广东;44
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摘要: 实用新型涉及一种测量电阻率的小游移探针头,主要包括光面探针(1)、上导引片(4)、红宝石轴套(24)、下导引片(23)、以及悬臂式S形弹簧(19),在上导引片(4)和下导引片(23)的轴套(24)内孔间插入光面探针(1),上导引片(4)、下导引片(23)与锥套(3)、弹簧座(18)及绝缘护片(5)依靠定位销(22)准确对位;本实用新型使光面探针(1)在插入红宝石轴套(24)内孔后,两者之间只有极小的间隙,可取得最佳的探针游移率,悬臂式S形弹簧(19)给每根探针提供了更大的垂直运动范围,更好的弹性以及可在小直径的探针头内安装。
搜索关键词: 测量 电阻率 游移 探针
【主权项】:
1、一种测量电阻率的小游移探针头,其特征在于(图1)主要包括光面探针(1)、上导引片(4)、红宝石轴套(24)、下导引片(23)、以及悬臂式S形弹簧(19),在上导引片(4)和下导引片(23)的轴套(24)内孔间插入光面探针(1);上导引片(4)、下导引片(23)与锥套(3)、弹簧座(18)及绝缘护片(5)依靠定位销(22)准确对位;悬臂式S形弹簧(19)底端粘接宝石片(20),宝石片(20)压着探针(1)顶端,光面探针(1)靠顶端处焊接有定位套(21),游丝(6)的两端分别与探针(1)、装在接线座(7)上的直角接线柱(8)连接,直角接线柱(8)的另一头通过内引线(10)与航空插座(12)上插针联接在一起,调节每根针的压力的调压螺丝(9)装在调压螺丝座(16)上,调节整个探针头对测试面的总压力的螺丝(2)装在下导引片(23)上。
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