[发明专利]电致发光元件的制造方法无效
申请号: | 03800011.3 | 申请日: | 2003-01-08 |
公开(公告)号: | CN1496666A | 公开(公告)日: | 2004-05-12 |
发明(设计)人: | 伊藤范人;立川智之 | 申请(专利权)人: | 大日本印刷株式会社 |
主分类号: | H05B33/10 | 分类号: | H05B33/10;H05B33/12;H05B33/14 |
代理公司: | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人: | 朱丹 |
地址: | 日本国*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 本发明的主要目的在于,提供一种在采用光刻法形成发光部时可以避免在已形成为图案形状的各发光部上层压有多层多余的层的状态,且在该多余层的剥离工艺中可以容易且迅速地进行剥离处理的EL元件的制造方法。为了达到上述目的,本发明提供具有下述特征的EL元件的制造方法,即,在采用光刻法的EL元件的制造方法中,具有:在设有表面具有光致抗蚀剂层的至少1色的发光部的基板上,涂布呈不同于所述发光部的颜色的异色发光层形成用涂布液,并形成异色发光层的工艺;在所述异色发光层上涂布光致抗蚀剂,形成异色发光层用光致抗蚀剂层的工艺;对所述异色发光层用光致抗蚀剂层进行图案曝光后,通过进行显影形成图案,留下形成异色发光部的部分的异色发光层用光致抗蚀剂层的工艺;和通过除去已除去所述异色发光层用光致抗蚀剂层的部分的异色发光层,形成在表面具有异色发光层用光致抗蚀剂层的图案形状的异色发光部的工艺。 | ||
搜索关键词: | 电致发光 元件 制造 方法 | ||
【主权项】:
1.一种电致发光元件的制造方法,是采用光刻法的电致发光元件的制造方法,其特征在于,具有:在设有表面具有光致抗蚀剂层的至少1色的发光部的基板上,涂布呈不同于所述发光部的颜色的异色发光层形成用涂布液,并形成异色发光层的工艺;在所述异色发光层上涂布光致抗蚀剂,形成异色发光层用光致抗蚀剂层的工艺;对所述异色发光层用光致抗蚀剂层进行图案曝光后,通过进行显影形成图案,留下形成异色发光部的部分的异色发光层用光致抗蚀剂层的工艺;和通过除去已除去所述异色发光层用光致抗蚀剂层的部分的异色发光层,形成在表面具有异色发光层用光致抗蚀剂层的图案形状的异色发光部的工艺。
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