[发明专利]抗蚀剂剥离剂无效
| 申请号： | 03800355.4 | 申请日： | 2003-03-27 |
| 公开（公告）号： | CN1533516A | 公开（公告）日： | 2004-09-29 |
| 发明（设计）人： | 藤田康治;堀越弘幸;新井亨 | 申请（专利权）人： | 美录德有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/42 | 分类号： | G03F7/42;H01L21/027 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 刘元金;庞立志 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明通过使抗蚀剂剥离剂为至少含有在分子内有下式(1)所示结构的杂环化合物作为添加剂的碱性水溶液，可以防止溶出于抗蚀剂剥离剂中的铜离子引起的锡在铜上的再析出，从而从铜上剥离抗蚀剂。 | ||
| 搜索关键词： | 抗蚀剂 剥离 | ||
【主权项】：
1.一种抗蚀剂剥离剂，其特征在于，是至少含有在分子内有下式(1)所示结构的杂环化合物的碱性水溶液。式(1)
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